日本ULVAC CFB-600復(fù)合分子泵技術(shù)參數(shù)

發(fā)布時間： 2015-12-29　　點(diǎn)擊次數(shù)： 1062次

日本ULVAC CFB-600復(fù)合分子泵一、產(chǎn)品簡介

復(fù)合分子泵是靠高速轉(zhuǎn)動的轉(zhuǎn)子攜帶氣體分子獲得超高真空的一種機(jī)械真空泵，是由渦輪分子泵和盤式牽引泵組合而成，它同時具有渦輪分子泵分子流時抽速大、壓縮比高，牽引泵高壓強(qiáng)時抽速大、壓縮比高的特點(diǎn)，擴(kuò)展了分子泵的應(yīng)用范圍，廣泛應(yīng)用于光伏、照明、航天航空、半導(dǎo)體、能源、軍工、激光、家電、材料、汽車、科研等真空技術(shù)的各個領(lǐng)域。

日本ULVAC CFB-600復(fù)合分子泵二、產(chǎn)品特點(diǎn)

復(fù)合分子泵對被抽氣體無選擇性、無記憶效應(yīng)；由于對分子量大的氣體有很高的壓縮比，因此該泵不需要冷阱和捕油擋板即可獲得清潔的高真空和超高真空。

日本ULVAC CFB-600復(fù)合分子泵三、主要性能指標(biāo)

型號		CFB-600
訂貨號		3151	3152
進(jìn)氣口法蘭	—	LF160	CF150
排氣口法蘭	—	KF40
抽氣速率	L/s	600
壓縮比N2/H2	—	1×109/8×103
極限壓強(qiáng)	Pa	5×10-7	8×10-8
電機(jī)轉(zhuǎn)速	rpm	24000
啟動時間	min	＜4.5
振動值	μm	≤0.1
前極泵	L/s	4-8
冷卻水溫度	℃	≤20
泵體烘烤溫度	℃	<120
冷卻水流量	L/min	1
加熱器功率	W	<550
加熱器輸入電壓	V	AC220
安裝方向	—	垂直±5°
重量	kg	～29

四、特性曲線及安裝尺寸

CFB系列復(fù)合分子泵安裝尺寸表

型號規(guī)格	CFB-600
進(jìn)氣口法蘭	LF160	CF150
D1	Ф180	Ф202
D2	Ф236	Ф236
D3	□45.7	□145.7
L1	128	128
L2	137	137
H1	395.5	395.5
H2	108	108
H3	135.5	135.5
H4	104	104
泵腿螺釘孔	4-M8	4-M8

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日本ULVAC CFB-600復(fù)合分子泵技術(shù)參數(shù)